4001001303 客服聊天 产品询价 预约演示 技术咨询

意力博通系列离子溅射

依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体。

全国统一销售电话:400-100-1303
全国售后服务热线:400-100-1306

4001001303 在线咨询 在线留言
  • 产品描述
  • 产品参数
  • 特点与用途

    仪器名称:全自动离子溅射仪    型号:ETD-800
    原理:二极直流溅射






    仪器名称:离子溅射仪 型号:ETD-900M
    原理:磁控溅射
    在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产
    生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。