以HPS-50B型FESEM对一些半导体试样的观测为例说明FESEM在半导体中的若干应用...
扫描电镜与一般光学显微镜相比，具有以下特点： 焦深大， 视场调节范围宽、图象立体感强，分辨率高以及通过收集电子束与样品作用......
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