Helios 5 DualBeam FIB双束电镜-FIB双束电镜-北京欧波同光学技术有限公司-显微镜品牌厂家,显微镜价格表

产品描述
产品参数
特点与用途

新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 产品系列业界领先的高性能成像和分析性能。它经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师对最广泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是最具挑战性的样品。

Helios 5 DualBeam 重新定义了高分辨率成像的标准：最高的材料对比度，最快、最简单、最精确的高质量样品制备，用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描（APT）以及最高质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上，新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的最佳运行状态。

半导体行业技术参数：

		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		样品制备与 XHR 扫描电镜成像		最终样品制备 (TEM薄片，APT)		STEM 亚纳米成像与样品制备
SEM	着陆电压	20 eV~30 keV		20 eV~30 keV
	分辨率	0.6 nm@15 keV 1.0 nm@1 keV		0.6 nm@2 keV 0.7 nm@1 keV 1.0 nm@500 eV
STEM	分辨率@30 keV	0.7 nm		0.6 nm		0.3 nm
FIB制备过程	最大材料去除束流	65 nA	100 nA	65 nA
	最终最优抛光电压	2 kV		500 V
TEM样品制备	样品厚度	50 nm	15 nm	7 nm
	自动化	否	是	是
样品处理	行程	110×110×65 mm	110×110×65 mm	150×150×10 mm	100×100×20 mm	100×100×20 mm+5轴（S）TEM Compustage
	快速进样器	手动	自动	手动	自动	自动+自动插入/提取STEM 样品杆

材料科学行业技术参数：

		Helios 5 CX	Helios 5 UX
离子光学		具有卓越的大束流性能的Tomahawk HT 离子镜筒	具有卓越的大束流和低电压性能的Phoenix 离子镜筒
	离子束电流范围	1 pA – 100 nA	1 pA – 65 nA
	加速电圧	500 V – 30 kV	500 V – 30 kV
	最大水平视场宽度	在束重合点处为0.9 mm	在束重合处点为0.7 mm
	离子源寿命	1,000 小时	1,000 小时
		两级差分抽吸	两级差分抽吸
		飞行时间校准	飞行时间校准
		15孔光阑	15孔光阑
电子光学		Elstar超高分辨率场发射镜筒	Elstar超高分辨率场发射镜筒
		磁浸没物镜	磁浸没物镜
		高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流	高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流
电子束分辨率	最佳工作距离下	0.6 nm @ 30 kV STEM	0.6 nm @ 30 kV STEM
		0.6 nm @ 15 kV	0.7 nm @ 1 kV
		1.0 nm @ 1 kV	1.0 nm @ 500 V (ICD)
		0.9 nm @ 1 kV 减速模式*
	在束流重合点	0.6 nm @ 15 kV	0.6 nm @ 15 kV
	在束流重合点	1.5 nm @ 1 kV 减速模式* 及 DBS*	1.2 nm @ 1 kV
电子束参数	电子束流范围	0.8 pA ~ 176 nA	0.8 pA ~ 100 nA
	加速电压范围	200 V ~ 30 kV	350 V ~ 30 kV
	着陆电压	20 eV ~ 30 keV	20 eV ~ 30 keV
	最大水平视场宽度	2.3 mm @ 4 mm WD	2.3 mm @ 4 mm WD
探测器		Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE)
		Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (ICD)*
		Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*
		样品室内 Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)
		红外相机
		高性能离子转换和电子探测器 (SE)*
		样品室内 Nav-Cam 导航相机*
		可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器 (DBS)*
		可伸缩STEM 3+ 探测器*
		电子束流测量
样品台和样品	样品台	高度灵活的五轴电动样品台	压电陶瓷驱动 XYR 轴的高精度五轴电动工作台
	XY	110 mm	150 mm
	Z	65 mm	10 mm
	R	360° (连续)	360° (连续)
	倾斜	-15° ~ +90°	-10° ~ +60°
	最大样品高度	与优中心点间隔 85 mm	与优中心点间隔 55 mm
	最大样品质量	样品台任意位置 500 g	样品台任意位置 500 g
	最大样品质量	0° 倾斜时最大 5 kg	样品台任意位置 500 g
	最大样品尺寸	直径 110 mm可沿样品台旋转时	直径 150 mm可沿样品台旋转时
		优中心旋转和倾斜	优中心旋转和倾斜

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