扫描电镜-拉曼光谱联用可以对样品进行微区原位分析，实现对样品的系统性分析测试。鉴于可以从同一点采集扫描电镜数据与拉曼光谱数据，能够对样品表面形貌和物质分子结构的关系进行快速直观的表征。以SEM图像为基础，可以更准确地对样品选择测试区域进行快速、无损的物质成分分析，得到准确的样品组成数据。

例1：表征微米级别的磷酸铝矿物中的PO4/SO4的比例及鉴别其中复杂的化合物成分明矾石和纤磷钙铝石

例2：实现铀酰矿物类的颗粒水平的拉曼光谱分析

例3：鉴别制备的石墨烯样品中单层区域与多层区域