EBSD，全称电子背散射衍射，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，给出结晶学的数据。

例1

20kV条件下得到的碳化钨/钴样品的EBSD结果

PCB板上的焊球SEM-EBSD测试

原位观察低碳钢中γ→α的相变

Al合金原位EBSD的应力应变数据

例2 采用共轴TKD技术测试了纳米孪晶铜的纳米片层结构，并且分辨出了2nm尺度的孪晶片层结构

纳米孪晶铜的孪晶结构PQ图与IPFX叠加显示以及图中线段处角度分布图