背景:
某行业国外粉末颗粒竞品,需观察分析样品在某一反应前后颗粒微结构的变化。委托OPTON对样品进行TEM表征分析。
方案:
1、利用EBSD技术,对粉末颗粒的取向进行标定
2、对特定颗粒进行特定方向的FIB制样
3、对样品进行TEM观察
结果:
测量流程如图1所示,获得特定方向的TEM结果见下。
图1 通过EBSD寻找到方向合适的颗粒
图2 利用FIB将样品提取出来,制成TEM样品
图3 STEM测量结果