欧波同系列离子溅射仪
该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。
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     品牌介绍:

     欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商,是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业,总部位于香港,分别在北京、上海、广州、鞍山、济南、西安、成都等地设有分公司和办事处。作为赛默飞电子显微镜及韩国COXEM台式扫描电镜产品在中国地区最重要的战略合作伙伴,公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念,正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。



     品牌:欧波同

     型号:Luminous-S1

     该产品是一款二极直流离子溅射仪,应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域。该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。


 

     品牌:欧波同

     型号:Luminous-S1

     该产品是一款二极直流离子溅射仪,应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域。该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。

     产品参数:


     型号:Luminous-S1

     技术指标:

     1、电源: 220V/50 Hz

     2、尺寸:424 x 271 x 255 mm

     3、溅射电压:2400V

     4、最大功率:500W

     5、靶材尺寸:57×0.12 mm

     6、真空泵:直连式两级旋片式真空泵(1L/s)

     7、真空室(128×130mm)

     8、极限真空:≤1Pa(电阻式真空规)

     9、工作电流:2-30 mA任意可调

产品参数

     型号:Aurora-S1


     技术指标:

     1、电源: 220V/50 Hz

     2、尺寸:424 x 271 x 255 mm

     3、溅射电压:600V

     4、最大功率:450W

     5、靶材尺寸:57×0.12 mm

     6、真空泵:直连式两级旋片式真空泵(1L/s)

     7、真空室(128×130mm)

     8、极限真空:≤1Pa

     9、工作电流:5-45 mA任意可调

     特点与用途:


     1、安全性高

     高压线多重防护,外加8×5透明真空管,绝对安全;

     外壳良好接地;

     真空互锁;

     电流>50mA,真空度超过100Pa,系统自动切断溅射;

     实体按键,绝对安全;

     溅射头采用阻尼设计,任意位置悬停,防止伤手。

     2、 操作方便

     5英寸液晶屏,简洁明了;

     最多设置两个参数,即可开始工作;

     Luminous-S1/ Aurora-S1设定参数后,系统自动调整,简单方便精度高,无需人工干预;

     自动放气;

     屏幕亮度可调节;

     样品台高度1秒调节。

     3、过程参数可视

     溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示,简单直观;

     靶材使用时间,仪器使用时间系统自动记录,直观了解设备的运行状态。

     4、内置操作向导

     设备内置操作向导,在操作人员更换时,无需培训,即可快速熟练操作设备。

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