品 牌：欧波同

产品：热蒸发碳膜仪   型号：OPT-1000c

技术参数
真空泵  ---------------------- -(泵油)旋转真空泵
旋转真空泵转速----------------50 Hz:8m³/h(2.2/L/s)/60Hz:9.6m³/h  (2.6/L/s)
极限真空度 --------------------2 Pa
蒸发电流可至------------------100A
抽真空时间--------------------<5 Min(2/Pa)
真空测量-----------------------测量范围从大气压到2x10²mbar
腔体尺寸-----------------------φ150*120mm(高)抗刮石英玻璃
蒸发靶源-----------------------溅射材料：碳绳/溅射靶源：碳绳
操作方法-----------------------操作手册
重量/尺寸----------------------45 kg/340mm长x390mm宽x300mm高
工作电源-----------------------AC  220V  50Hz
电源功率-----------------------<2000W
质量保证-----------------------一年有限质量保证/保修/支持

品 牌：欧波同

产品：磁控溅射仪    型号：OPT-1000

技术参数
真空泵------------------------(泵油)旋转真空泵
旋转真空泵转速---------------5 0 Hz:8m³/h(2.2  L/s)/60  Hz:9.6m³/h   (2.6  L/s)
极限真空度-------------------2 Pa
溅射电流可至-----------------0~100 mA
工作压力---------------------30Pa-7Pa
抽真空时间------------------<5 Min(2/Pa)
真空测量---------------------测量范围从大气压到2x10-²mbar
气体控制---------------------气体流量控制阀
腔体尺寸---------------------φ150*120mm  (高)抗刮石英玻璃
磁控靶源 --------------------靶尺寸φ50*0 . 1mm  (金)/溅射靶源：金、银、铂
操作方法---------------------操作手册
重量 / 尺寸-----------------  45kg/360mm 长x300mm宽x380mm高
工作电源 ------------------- AC  220V  50Hz
电源功率 ------------------ <1500W
冷却方式--------------------风冷
质量保证-------------------  一 年有限质量保证/保修/支持

品 牌：欧波同

产品：磁控溅射仪    型号：OPT-2000

技术参数
真空泵-------------------------- (泵油)旋转真空泵
旋转真空泵转速-----------------50 Hz:8m³/h(2.2L/s)/60 Hz:9.6m³/h(2.6L/s)
极限真空度--------------------- 2 Pa
溅射电流可至------------------- 100mA
工作压力----------------------- 20 Pa-8 Pa
抽真空时间-------------------- <5 Min(2 Pa)
真空测量----------------------- 测量范围从大气压到2x10⁻²mbar
气体控制---------------------- 气体流量控制阀
腔体尺寸---------------------  φ150*120mm  (高)抗刮石英玻璃
磁控靶源---------------------- 靶尺寸φ50*0 . 1mm  (金)/溅射靶源：金、银、铂
操作方法---------------------- 操作手册
重量/尺寸--------------------- 45kg/360mm长x300mm宽 x380mm高
工作电源---------------------- AC  220V  50Hz 
电源功率--------------------- <1500W
冷却方式--------------------- 电制冷
质量保证--------------------- 一 年有限质量保证/保修/支持