品 牌：Coxem

     型号：SPT-20

     该产品自动真空控制，条件设置简单，可以实现快速抽真空（<2min），对样品进行镀膜处理，完成镀膜后可以自动卸载真空。同时，样品高度的调节也十分方便。

     技术指标：

     1、电源：AC 220V，500W

     2、重量：10kg

     3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm

     4、机械泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg

     5、靶的尺寸：直径50.8mm

     6、真空度：约0.1torr

     7、zui 大低电压：~3kv

     离子流控制范围：1~9mA

     特点:

     1全自动数字离子溅射镀膜机

     2 可一键进行离溅射镀膜，完成镀膜后可自动卸载真空

     3具有涂层电流反馈功能的稳定涂层

     4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各种金属靶

     5采用低噪音旋转泵