英国VacCoat 系列离子溅射仪
VacCoat镀膜仪,可提供晶粒尺寸很细的高质量均匀薄膜,十分适用于高分辨率和高质量样品的表征。
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     VacCoat公司

     Vac Coat有限公司是高质量定制物理气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有25年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和资深工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。

     Vac Coat的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。Vac Coat的真空镀膜机系统已通过遍布全球的分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。

 

     一、DSR1



     仪器描述:

     该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。


     产品特点:

     • 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速

     • 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示300个历史涂层信息。

     • 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构

     • 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射

     • 可联网更新用户友好软件



     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。


 

     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 符合CE标准


     产品参数:

     • 2英寸磁控管阴极

     • 两级直驱4m3/h旋片机械泵

     • Pyrex样品仓:外径170mm,高140mm,

     • 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

     • 运输重量(包括真空泵):42kg

     • 电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     • 极限真空度:小于40 mTorr

     • 电子控制快门

     • 电子控制真空阀

 

     二、DCR



     仪器描述:

     DCR是一台结构紧凑的台式镀碳仪。可用于扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和能谱分析(EDX)制样。

 

     产品特点:

     • 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少



     • 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。

     • 可联网更新用户友好软件

     • 可记录和绘制涂层参数图表



     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。


 


     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 符合CE标准

 

     产品参数:

     1、真空泵:二极直驱旋片机械泵(4m3/h)

     2、极限真空度:小于50 mTorr

     3、Pyrex 样品仓:外径170mm,140mm,

     4、0-25A脉冲直流开关电源

     5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

     6、电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     7、电子控制快门

     8、精密真空压力控制阀

     9、USB数据传输端口

     10、运输重量:46kg

 

     三、DSCR



     仪器描述:

     DSCR型台式多功能镀膜仪,是一台紧凑型涂布系统,集离子溅射系统和镀碳系统于一体。该系统能够在不导电或导电性差的样品上溅射金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)等贵金属,并且可以在样品上镀上碳膜。

     DSCR是一台多功能扫描电子显微镜制样设备。全自动操作选项使得即使是初学者,也可以轻松使用系统,形象的用户友好软件,简化了对沉积信息的感知。


     产品特点:

     • 精密可复制涂层:可重复膜厚沉积

     • 高分辨率精细涂层(金颗粒可达2nm)

     • 低压溅射

     • 无需冷却系统

     • 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少可使用双碳纤维蒸镀,用于厚层沉积

     • 易于操作:7’’彩色触摸屏直观控制涂布过程,数据输入简单快速

     • 用户友好的全自动及半自动控制软件

     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。

     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 符合CE标准


     产品参数:

     1、真空泵:二极直驱旋转机械泵(4m3/h)

     2、Pyrex 样品仓:外径170mm,140mm,

     3、仪器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm

     4、2英寸磁控管阴极

     5、极限真空度:小于50 mTorr

     6、电子控制快门

     7、自动控制泄露阀

     8、电源:220V-240V, 50/60HZ- 10A

     9、80W直流开关电源

     10、运输重量:42kg

 

     四、DST1-170

 

 

     产品描述:

     DST1-170是一台结构紧凑的台式磁控离子溅射仪。适用于金属材料溅射,包括惰性金属以及氧化性金属,DST1-170配有直径为2英寸的磁控管阴极。在较短时间内即可形成晶粒尺寸均匀的薄膜。

     DST1-170高真空溅射仪,可提供高质量的均匀薄膜,具有较细的晶粒尺寸,十分适用于样品的高分辨和高品质表征,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD,也可应用于科研和各种薄膜的应用研究中,如:纳米和微电子、太阳能电池应用、光学元件涂层合薄膜传感器等。


     产品特点:

     • 高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)+二级旋片式真空泵的前级泵,为仪器提供了洁净的高真空,减少了污染。



     • 涂层速率可控,可获得更细的晶粒结构

     • 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射

     • 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。

     • 触摸屏直观地控制涂布过程,数据输入简单快速

     • 可通过网络更新的用户友好软件

     • 可记录和绘制涂层参数图

     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。

     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 符合CE标准


     产品参数:

     1、高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)

     2、二极直驱旋片机械泵(4m3/h)

     3、极限真空:小于5x10-6 Torr

     4、独立于压力自动控制溅射功率

     5、全量程真空计(Leybold)

     6、ISO-KF 63蝶形阀

     7、80 W直流电源

     8、电子控制快门

     9、电控氩气泄漏阀

     10、设施:220V-240V,50/60HZ-16A

     11、运输重量:36kg
 

     五、DCT


 

     产品描述:

     DCR是一台装有涡轮泵的碳镀仪,可提供细粒度均匀的高质量碳膜,适用于需要高分辨率和高质量表征的样品,尤其适合FE-SEM,EDS/WDS,TEM,EBSD和薄膜应用研究等。


     产品特点:

     • 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少

     • 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。

     • 可联网更新用户友好软件

     • 可记录和绘制涂层参数图表



     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果

     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 可选用碳棒蒸发源及适配大电流电源

     • 符合CE标准

     产品参数:

     1、高真空涡轮分子泵90 l/s Leybold

     2、二级旋片式真空泵作为分子泵前级泵

     3、全量程真空计

     4、真空仓:外径170mm,140mm

     5、0-25A脉冲直流开关电源

     6、极限真空度:小于50×10-6 Torr

     7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

     8、电源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

     9、用于精确控制真空压力的精密计量阀

     10、电子控制快门

     11、涂层参数实时图

     12、USB数据传输端口

     13、运输重量:46kg

 

     六、DSCT

 

 

     产品描述:

     DSCT是一台多功能的涂布系统,集溅射镀膜机和纤维碳镀膜机于一体:在一台仪器中具有可互换的磁头。

     DSCT高真空镀膜机,可提供晶粒尺寸很细的高质量均匀薄膜,适用于需要高分辨率和高质量表征的样品,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。

     DSCT具有2''磁控管阴极,80w直流开关电源和碳蒸发大电流电源,也可用于科研及不同薄膜的应用研究中。
 

     产品特点:

     • 高真空涡轮泵90 L/S(Leybold)+二级旋片式真空泵的前级泵,为仪器提供了洁净的高真空,减少了污染。



     • 涂层速率可控,可获得更细的晶粒结构

     • 可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少

     • 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射

     • 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速;真空度、电流、厚度等镀膜参数可通过触摸屏中的数据或曲线直观监测;历史页面可显示300个历史涂层信息。

     • 触摸屏直观地控制涂布过程,数据输入简单快速

     • 可通过网络更新的用户友好软件

     • 可记录和绘制涂层参数图

     • 可配高精度石英晶体厚度监测仪(精度可达1nm)

     • 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来更好的喷金效果。

     • 可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     • 符合CE标准


     产品参数:

     1、极限真空:小于5×10-6 Torr

     2、独立于压力自动控制溅射速率

     3、用于精确控制真空压力的精密质量流量计(MFC)

     4、可通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC

     5、设施:220V-240V,50/60HZ-16A

     6、运输重量:42kg

产品参数

     整体型号的选型:

 

 

     仪器特点:

     VacCoat拥有离子溅射喷金仪、镀碳仪,以及集喷金与镀碳于一体的型号,用户可根据不用应用,选择高真空以及低真空的不同型号。

     VacCoat镀膜仪,可提供晶粒尺寸很细的高质量均匀薄膜,十分适用于高分辨率和高质量样品的表征。

     •喷金系统具有2''磁控管阴极,磁控建设,减少样品的损伤;

     •镀碳系统配备80w直流开关电源和碳蒸发大电流电源,也可用于科研及不同薄膜的应用研究中。

     •镀碳系统可进行Flash式或Pulsed式镀碳:Pulsed脉冲式镀碳:短脉冲提供了更加可控的沉积方式,与传统镀碳相比,碎屑显著减少

     •高真空型号配备涡轮分子泵90 l/s Leybold

     •使用二级旋片式真空泵作为分子泵前级泵

     •配有全量程真空计

     •可选用高精度石英晶体厚度监测器,测厚精度可达1nm。

     •触摸屏直观地控制涂布过程,数据输入简单快速

     •可通过网络更新的用户友好软件

     •可控涂层速率,可获得更细的晶粒结构

     •可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射,建设操作灵活简便

     •可记录和绘制涂层参数图

     •配备电控快门

     •样品台更换简单:标准样品架,高度可调可选转;也可选用适合多孔样品的行星式旋转样品架


 

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